Periode: september 2023 – juni 2024
VDL Enabling Technologies Group ontwikkelt en produceert het subsysteem van de ASML lithografiemachines dat wafers geconditioneerd en exact gepositioneerd de machine in brengt en na belichting weer gecontroleerd uit haalt. Als onderdeel van de ontwikkeling van een nieuwe generatie modulaire hardware en de ondersteuning hiervan door de bestaande software, werd ook een stap gedaan in het modulariseren van de software voor twee verschillende typen machinelijnen.
Lees verder VDL-ETG: ASML Mk9 wafer handler software